在光刻機領域內,技術最先進的廠商是ASML,其研發製造的光刻機,占領了中高端市場,可以說,凡是生產製造28m以下晶片,幾乎都用ASML的光刻機。
據悉,ASML目前最先進的光刻機是EUV光刻機,但其產能有限,至今還積壓大量訂單,三星想要更多EUV光刻機,ASML也只能在韓國建設EUV光刻機再製造工廠。
簡單說就是,ASML讓三星使用翻新的EUV光刻機,而ASML已生產的EUV光刻機,七成都給了台積電,這也是台積電先進位程晶片良品率高、產能大的原因之一。

雖然EUV光刻機已經很先進,能夠用於生產製造7nm、5nm,甚至是3nm製程的晶片,但ASML仍在研發更先進的光刻機。
據悉,ASML研發新一代EUV光刻機主要是用於生產製造3nm、2nm,甚至是1nm製程的晶片,該光刻機預計在2023年投入使用。
但沒有想到的是,近日,ASML新消息正式傳來,情況是這樣的。
根據ASML方面的消息可知,ASML已經開始正式生產製造全新一代EUV光刻機,也就是NA EUV光刻機,其採用更先進的光刻技術。

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相比現有EUV光刻機的NA值而言,NA EUV光刻機的NA值更高,能夠進行更高精度的光刻。
當然,NA EUV光刻機更為先進,但體積也明顯增加,大小將會像一輛公共汽車,售價也將超過1.5億美元。
最主要的是,新一代EUV光刻機已經正式開始生產製造,其在2023年下線商用基本上問題不大,將會如期應用在3nm、2nm晶片生產線中。

ASML的新一代EUV光刻機開始生產製造,於是,就有外媒表示,EUV光刻機有望,意思就是自由出貨。外媒還給出了三點理由。
首先,ASML一直都在爭取EUV光刻機等自由出貨,進入2021年後,其已經多次向美發出警告,倘若不能自由出貨,必然會加速中國廠商自主研發光刻機等技術。
一旦中國廠商有了先進的光刻機,ASML想在中國市場生存下去,將會很困難,甚至可能會完全退出中國市場。

ASML如此表態,並非誇大其詞或者危言聳聽,因為上海微電子已經占領國內八成的光刻機市場,由此可見,ASML在國內的市場份額本身就不高。
其次,美態度也正在發生變化。
今年早些時候,ASML等企業獲得許可,允許向中芯國際等出售DUV光刻機等技術,而中芯國際也與ASML簽訂了11億美元的光刻機采購協議等。
另外,美還突然允許高通向出貨4G晶片等產品,搭載高通晶片的部分華為產品正在陸續上市,消息稱,高通還有望向華為出貨5G晶片。

最主要的是,美最近還批准了一項新出售方案,允許一筆價值2億美元的汽車晶片以及驅動晶片等向華為出貨。
從這幾點來看,美正在發生變化,其允許ASML自由出貨EUV光刻機並非不現實。
最後,ASML目前能夠向國內出貨DUV光刻機等產品,而最先進的EUV光刻機則無法自由出貨,這也是美一貫做法,不允許最先進的光刻機技術出售給國內廠商。
但EUV光刻機即將不再是最先進的技術,畢竟,ASML已經開始生產製造全新一代EUV光刻機,其將是ASML最先進的光刻機。

在這樣的情況下,ASML的EUV光刻機獲得自由出貨,也不是不可能的,更何況,ASML自身也在想辦法,向中國廠商提供其能夠提供的一切技術。
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