光刻機技術最先進的廠商是ASML，因為其是目前唯一一家能夠研發製造EUV光刻機的廠商，而EUV光刻機又是生產製造7nm及以下晶片的必要設備。
可以說，EUV光刻機被生產製造出來後，其就供應不求，很多廠商都爭相購買，但ASML卻不能自由出貨，甚至是不能將EUV光刻機出貨給外企中國分廠。
為此，ASML一直都在積極爭取EUV光刻機自由出貨，像加大在中國市場的布局，提升EUV光刻機的產能，甚至對美發出警告等。
但無論ASML怎麼做，其始終都沒有拿到自由出貨許可，即便是SK海力士想將EUV光刻機安裝到中國分廠，ASML都沒有辦法。
要知道，EUV光刻機占據了ASML光刻機出貨量的一半，給ASML貢獻了大量的營收。
而ASML要想實現在2025年超300億歐元的營收，EUV光刻機自由出貨這一點很重要。
所以，進入2022年後，ASML的動作是接二連三。
例如，歐盟出台晶片方案後，ASML就在其官網明確闡述其支持歐盟晶片的做法，並表示，希望歐盟關注世界其他地區所依賴的歐洲產品和技術的能力和性能。
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意思就是希望在ASML的EUV光刻機自由出貨這件事上努努力，盡管解了ASML的圍。
另外，ASML表示東方晶源可能造成了侵權，但卻沒有拿出強有力的證據。
有消息稱，ASML突然表示東方晶源可能存在侵權，有可能是在緊張東方晶源的技術突破，畢竟，兩者在業務上有一定的重合，而ASML至今也沒有亮出強有力的證據。
最主要的是，歐盟出台晶片方案後，ASML也明確表示支持，但430億歐元並不夠，這需要2640億美元才可以。
據了解，ASML之所以這麼說，完全是因為歐盟僅僅是提升晶片產能，而不是發展整個晶片產業鏈，倘若沒有自主技術，還是會受美規則影響。
言外之意就是加大投資，在晶片半導體領域內加大研發，基本剔除，甚至是完全放棄美技術。
對於ASML這接二連三的動作，就有外媒表示，ASML就EUV光刻機等不及了，其變相想讓歐盟出面解決光刻機自由出貨的問題，就是最好的證據。
另外，ASML還希望歐盟加大對晶片行業的投資，在技術上爭取做到完全脫離美，只有這樣，ASML等歐洲晶片企業才能更好的發展，這是另外一個證據。
當然，ASML就EUV光刻機等不及了，主要是因為晶片製造技術不斷在突破，台積電、鎧俠等都明確表示不會用EUV光刻機也可以生產製造5nm等晶片。
要知道，鎧俠、佳能等還計劃在全球范圍推廣新技術，一旦實現，EUV光刻機的銷量必然會受到很大的影響。
其次，國產光刻機等相關技術突破很多，像Afr193等光源技術等，國內廠商已經突破了。
國產新一代光刻機量產下線後，如果EUV光刻機還不能自由出貨，ASML在中國市場的銷量必然會受到很大的影響。
最主要的是，各大晶片企業都在積極擴大晶片產能，尤其是三星、SK海力士等快閃記憶體晶片企業，其在中國內地有大量的工廠，這些工廠對EUV光刻機需求很大。
數據顯示，一條快閃記憶體晶片生產線需要1.8台EUV光刻機，而三星、SK海力士一半的產能都在中國內地，可見其對EUV光刻機的需求有多大。
但EUV光刻機不僅不能自由出貨，也不能出貨安裝到外企中國分廠，ASML自然是很著急。
也正是因為如此，進入2022年後，ASML的動作是接二連三，就是希望EUV光刻機趕緊實現自由出貨，解決後顧之憂。
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