國產光刻機核心零件破冰，ASML也沒料到，一切來得如此之快

EUV光刻機的物鏡系統、光源系統、雙工件台、控制軟體被稱為光刻機的四大件。是支撐EUV光刻機運行的核心系統部件，但實際上深究起來，EUV光刻機當中10萬顆零部件都是至關重要的。

只有突破每一個核心零件，才能完成整體的生產製造。這也是國產光刻機發展的方向，不求在短時間內達到和國外EUV光刻機一樣的製造水準，只要能取得突破進展，就已經是很大的進步了。好消息是，一項光刻機核心零件被國產企業突破，這次取得怎樣的進展呢？

據報導，長春光機所實現國產光刻機零部件破冰，突破了光刻機核心部件「光學投影物鏡」製造關鍵技術，完成了中國超精密光學技術的突破。

長春光機所深入研究國產光刻機的曝光光學系統，作為光刻機的四大件之一，此次的突破可以說是非常關鍵的。

核心零件破冰對國產半導體的意義

25年前，長春光機所就完成了18.2nm的EUV光學成像曝光裝置，為中國半導體的發展史畫上了濃墨重彩的一筆。如今長春光機所再次實現國產光刻機核心零件的破冰，對國產半導體的發展有何意義呢？

首先第一點：為國產半導體提供自主的技術支持。

上海微電子是國內領先的光刻機廠商，負責光刻機的設計，集成裝備。還有科益虹源可參與了光源系統的製造，研發。華卓精科這家巨頭負責的是雙工件台的生產製造。這幾大企業都是國產光刻機的中堅力量。

長春光機所作為其中一員，實現技術突破後將為國產半導體提供自主的技術支持，避免因國外規則導致設備技術無法使用。

第二：優化國產光刻機產業鏈市場布局。

國產光刻機的產業鏈是相對完善的，在成熟工藝製程領域有諸多自主可控的技術。比如賽微電子掌握的微流控制技術，藍英裝備公司也有業界領先的清洗設備產品。

有了這些產品設備保障，再加上長春光機所的破冰，可以優化國產光刻機產業鏈的市場布局。為國產光刻機整機裝備廠商帶來更多的國產化供應鏈選擇。

ASML也沒料到

國產光刻機其實一直在向前進步，當然，在全球市場上還有很大的進步空間。而ASML作為全球最大的光刻機製造商，其掌握的EUV光刻機製造技術奠定了其在行業內的地位。

根據該公司數據披露，今年第三季度淨賺17 億歐元，同比上一個季度增長了67.6%。ASML還計劃加大EUV光刻機的產能，截至目前ASML出貨的EUV光刻機數量已經超過了一百多台。

ASML方面表示，市場對光刻機需求相當旺盛，持續的數位化轉型和晶片短缺促使我們需要增加產能。

雖然ASML出貨了一百多台EUV光刻機，但是沒有一台是面向大陸市場的。並非ASML不願出貨，而是背後有太多的規則。不過ASML仍然希望加快在中國市場的布局。EUV光刻機或許不能出貨，但DUV光刻機卻可以。

中國有很大的半導體消費市場，這對於ASML來說是非常希望深入布局的。這會給其帶來很大的市場機會。可是隨著長春光機所的光刻機核心零件取得破冰，國產光刻機的發展會進一步向前邁進。

到時候國產光刻機在國內有可能會迎來崛起的機會，屆時ASML能不能加速中國市場的布局，就不好說了。

一切皆有可能，估計ASML也沒料到，一切來得如此之快。接下來半導體行業的需求會變得更加迫切，許多晶片製造商都在加大工廠建設，盡管ASML的EUV光刻機缺乏競爭對手，可在中低端市場，同樣有非常大的市場需求。

而且這部分的市場其它廠商也是能參與的，這意味著，一家獨大幾乎不可能。

總結

國產半導體已經在多個設備領域實現進步，光刻機是一方面，還有在離子注入機、清洗機、刻蝕機、晶圓減薄機等等都完成了一系列的技術破冰。相信在未來，國產半導體還會繼續深耕鑽研，取得更大的突破。