3個捷報傳來,事關國產光刻機

高速發展的社會,物慾橫流的今天。在時代的洪流不斷推進的當下,晶片在國際社會中的作用越來越重要。但是,比晶片更重要的是光刻機。如今,眾所周知,在光刻機這個領域中,基本上都被阿斯麥爾壟斷了。

我國近年來雖然也研發成功了國產中低端光刻機,但是,在高端光刻機方面,我國依舊無能為力。如今,我國也只能盡可能優化發展目前中低端光刻機。在這方面,我國也傳來了三個捷報。那麼,我國三個捷報究竟是什麼?依靠這三個捷報,對於我國究竟又有什麼影響呢?

我國傳來三捷報

我國作為製造業大國,在光刻機國產化方面自然也不能落後。目前,我國總共傳來了三個捷報。首先就是長春光機所的專利雙波長雷射共軸輸出系統和方法。這項技術主要就是使用高重頻、高功率的雷射,誘發離子體放出高功率雷射。解決目前雷射器無法同時輸出雙波長的難題。如果這個難題真的能得到解決,那麼,很有可能會提高EUV光刻機的提取效率。

其次就是強脈沖極紫外光源系統,通過真空腔室底部和真空汞連接,真空腔室和接地端電線連接,以此達到能夠產生13.5納米穩定光源的效果。而這種光源又是EUV和DUV光刻機所必須的光源。

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最後就是高功率波長可調的極紫外光線的產生裝置及方法。主要就是通過電子束和雷射脈沖對撞產生極紫外光,然後通過一定的科技手段早光存儲器中調整到自己想要的波長。這樣一來,在光刻機技術中,能夠很好地解決解析度的問題。

那麼我國目前這三項專利究竟對於我國又有什麼影響呢?

我國研發三專利對我國的影響

首先,我國國產光刻機很有可能做大做精

我國研發的三項專利,對於我國而言,最直觀的影響就是能將我國目前已經成功突破的國產光刻機,進一步優化發展,將我國的國產光刻機做大做強。從而使我國未來的國產光刻機能夠盡可能增加自身的競爭優勢。

其次,能盡快擺脫對於外國光刻機的依賴

自從全球晶片荒以來,我國對於外國光刻機的依賴大大加強。但是這也是沒有辦法的事情,誰叫我國沒有國產光刻機呢?而這種對外國的嚴重依賴,在競爭激烈的今天,對於我國晶片的發展是很不利的。

如今,我國突破了光刻機三項關鍵技術,對於我國而言,等於說在國產光刻機的發展上又進了一步。能幫助我國盡快擺脫對於外國光刻機的嚴重依賴。

最後,能增加我國的經濟利益

如今,就算我國生產不出EUV光刻機,但是,憑借著我國研發的三項專利,研發一款中低端晶片的光刻機還是問題不大的。而目前的國際社會,能生產出這樣光刻機的國家和企業可以說是鳳毛麟角。因此,自然就會有廣闊的市場。我國依靠這三項專利優化發展的國產光刻機,自然也會收獲不菲的經濟收益。

對於我國這三項專利的突破,可能很多人會認為,我國是不是也能實現EUV光刻機的國產?其實就目前來看,這種可能性幾乎沒有。

EUV光刻機真能實現國產?

首先,EUV光刻機是個全球貨

EUV光刻機雖然是阿斯麥爾獨家生產,但是如果真要深究的話,阿斯麥爾也僅僅是將全球各地的零件組裝在一起而已。而我國企業,就目前看來,是不可能成功布局這麼一個龐大的全球產業鏈。當然,目前除了阿斯麥爾以外,沒有任何一家企業能做到。

因此,我國即使突破了這三項核心技術,要想實現EUV光刻機的國產化,還真沒有多大可能。

其次,EUV光刻機組裝工藝復雜

退一步講,就算我國真有企業能夠聚集這麼多的產業鏈,或者說真能成功生產相當一部分的零件。這其實也沒用。因為組裝技術並不簡單。眾所周知,EUV光刻機是一個全球貨。這就意味著EUV光刻機的零件公差不可能一模一樣,甚至可能相差甚遠。

眾所周知,如果零件公差大小不一樣或者差距太大的話,那麼生產出來的產品質量是不穩定的。這也是為什麼製造業都很注重國際標準的原因。

阿斯麥爾為什麼能成功組裝EUV光刻機?絕對是有相對應的組裝方法的。因此,EUV光刻機光組裝工藝就這麼復雜,我國目前還真不能實現EUV光刻機的國產化。

總結

我國今年,在光刻機領域傳來了三個捷報,這對於我國而言可以說是一個可以舉國歡慶的大好消息。隨著我國三項核心技術的突破,未來我國國產光刻機一定能夠越來越好。從而實現徹底擺脫外國依賴的一天。


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