1nm!ASML全新光刻機的多個信息來了

在光刻機領域內,ASML是繞不開的話題,原因是ASML研發製造的光刻機最先進,尤其是EUV光刻機,目前僅有ASML能夠研發製造。

最主要的是,EUV光刻機是生產製造7nm以下晶片的必要設備,從其被研發製造出來那一刻開始,EUV光刻機就供不應求,至今還積壓了幾十億歐元的訂單。

在這樣的情況下,ASML一邊提升EUV光刻機的產能,預計今後兩年生產製造115台EUV光刻機,一邊研發製造全新一代EUV光刻機,其就是NA值為0.55的EUV光刻機。

19億元!1nm!ASML全新光刻機的多個信息來了

據悉,目前ASML正在研發製造全新一代EUV光刻機,其被命名為NA EUV光刻機,而NA更是高達0.55,相比現有的NA值為0.33的EUV光刻機而言,有明顯的提升。

當然,全新一代光刻機的NA值提升,意味著光刻機精度更高,可以生產製造更小面積的晶片,甚至可達1nm。

要知道,台積電、三星都計劃在2024年量產2nm製程的晶片,而ASML全新一代EUV光刻機也計劃在2023年交付廠商研發測試,2024年規模量產。

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這意味著ASML的全新一代光刻機至少能夠將晶片面積縮小到1nm,否則,僅用於生產3nm、2nm等製程晶片,實在是有點浪費。

另外,ASML全新一代光刻機的精度提升了,其工作效率也將隨之提升。目前,升級版的EUV光刻機,每小時能夠曝光晶圓大約是170片12寸晶圓。

也就是說,2024年量產的全新一代NA EUV光刻機,但在單位時間里自然能夠曝光更多12寸晶圓,晶片生產製造速度自然也隨之增快。

不過,全新一代NA EUV光刻機的精度和生產效率等都得到了提升,這意味其工藝更復雜,成本也更高了。

消息稱,全新一代EUV光刻機的體積將會更大,高度都將挨著屋頂,運輸起來自然也要比現有的EUV光刻機需要更多卡車等設備。

關鍵是,其價格也將幅度上漲,現有的EUV光刻機的售價在1億多美元,而新一代NA EUV光刻機的手機將會高達3億美元,折合人民幣19億元左右。

還有一點,ASML已經將升級版的EUV光刻機優先給了英特爾,而英特爾也表示將會努力優先拿到了全新一代NA EUV光刻機。

因為英特爾是ASML的大股東之一,再加上,英特爾已經制定了晶片目標,並獲得了IBM的2nm晶片生產製造技術,這些都需要最先進的光刻機來實現。

或改變自由出貨結果

都知道,ASML的EUV光刻機是不能自由出貨的,即便是ASML多次爭取,但日前還是表示,EUV光刻機暫時無法自由出貨。

不僅如此,EUV光刻機出貨安裝到外企中國分廠也受到了阻礙,不過,韓國晶片巨頭SK正在積極爭取為中國工廠引進EUV光刻機,並表示目前進展順利。

如今,ASML的全新一代光刻機傳來新消息,不僅精度和效率得到了提升,關鍵是,將會在2023年交付廠商研發測試,這或將改變出貨自由結果。

因為EUV光刻機是當下最先進的光刻機,這是其不能自由出貨的主因,而全新的NA EUV光刻機交付後,現有的EUV光刻機就不再是最先進的光刻機。

另外,各大晶片廠商都在加速購買EUV光刻機,無論是處理器晶片還是儲存晶片都在普及EUV工藝,而ASML也想方設法提升EUV光刻機的產能。

也就是說,NA EUV光刻機在2023年交付測試時,EUV工藝可能就已經普遍,屆時,EUV光刻機或許就能夠自由出貨了。


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